公司名称:
金离子溅射仪ETD-200小型 特点:
靶(上部电极):材料:金,
直径:64mm,厚度:0.12mm(大约)
真空室:直径:160mm,高:120mm
样品台(下部电极):溅射面积:直径:64mm,最大放置样品数量:16个
离子电流表:最大电流:100mA
定时器:最长时间:900S
最高电压: -1600V
电源开关
机械泵: 2升/每秒
可选:真空控制针阀
靶材可按用户要求加工制作
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